Systémy dodávky energie ve výrobě polovodičů
Při výrobě Fixload je zapotřebí čistý vzduch. Důvodem je velmi citlivá oblast použití rozhraní pro zařízení na zpracování 300mm destiček v polovodičové výrobě. Vzhledem k tomu, že destičky určené ke zpracování nejsou chráněny a jsou během nakládání vystaveny okolnímu prostředí, nesmí technické zařízení vytvářet žádné částice.
Proto se zde používá odolný energetický systém, který lze použít v čistých prostorách třídy ISO 3 (v souladu s normou DIN EN ISO 146441-1).