Systémy Volume Pattern Generator", zkráceně VPG, od společnosti Heidelberg Instruments se používají především v průmyslové velkovýrobě. Využívají UV lasery ke generování fotomasek s vysokou přesností a rychlostí, které slouží jako šablony pro výrobu mikročipů, senzorů, LED diod a MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Mezi další možné aplikace systémů VPG patří přímý zápis mikrostruktur na destičky.
Kromě extrémně vysoké přesnosti je součástí profilu požadavků na pohony v těchto systémech také nepřetržitý provoz a velmi krátké časy cyklů každou sekundu. Michael Kappel, vedoucí oddělení elektrotechniky: "Proto si řadu klíčových komponent, včetně stolů XY se vzduchovými ložisky, vyvíjíme sami." Vzhledem k tomu, že proces osvitů probíhá v podmínkách čistých prostor, musí být komponenty pohonů vybrány odpovídajícím způsobem. To se týká zejména přívodů energie, signálu a médií k XY stolu. I ty nejmenší prachové částice zhoršují kvalitu expozice. Další požadavek je přinejmenším stejně důležitý. K tomu slouží např: "Je třeba zabránit i sebemenšímu narušení průběhu přívodu energie, protože snižuje přesnost expozice."
